Curable composition for optical imprinting, pattern forming method, fine pattern, and method for manufacturing semiconductor device

WO2014050855 Art A1 3. April 2014

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014050855
Aktenzeichen: EP13840213
Anmeldetag: 25. September 2013
Veröffentlichung: 3. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02C08F2/44B29K67/00B29K71/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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