Substrate processing method, computer storage medium, and substrate processing system

WO2014051063 Art A1 3. April 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014051063
Aktenzeichen: EP13842375
Anmeldetag: 27. September 2013
Veröffentlichung: 3. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B82Y40/00G03F7/40H01L21/3065H01L21/31H01L21/312

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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