Pre-compensate target material push-out for euv light

WO2014051891 Art A1 3. April 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014051891
Aktenzeichen: EP13840598
Anmeldetag: 20. August 2013
Veröffentlichung: 3. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G21K5/02G21K5/10H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik

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