Method and apparatus for testing alignment in a component test system

WO2014051931 Art A1 3. April 2014

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014051931
Aktenzeichen: EP13842789
Anmeldetag: 30. August 2013
Veröffentlichung: 3. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01R31/00G01B21/00G01L1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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