Particle control near reticle and optics using showerhead

WO2014052624 Art A1 3. April 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation, Sandia Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014052624
Aktenzeichen: EP13840494
Anmeldetag: 26. September 2013
Veröffentlichung: 3. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/33G01N21/15H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kla-Tencor Corporation
Sandia Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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