Particle and chemical control using tunnel flow
WO2014052662
Art A1
3. April 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation, Sandia Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014052662
- Aktenzeichen
- EP13842836
- Anmeldetag
- 26. September 2013
- Veröffentlichung
- 3. April 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B08B17/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kla-Tencor Corporation
Sandia Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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