Charged particle beam device, position adjusting method for diaphragm, and diaphragm position adjusting jig

WO2014054477 Art A1 10. April 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014054477
Aktenzeichen: EP13843736
Anmeldetag: 25. September 2013
Veröffentlichung: 10. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/18H01J37/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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