Vapor deposition apparatus

WO2014054501 Art A1 10. April 2014

Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation, TNCSE Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014054501
Aktenzeichen: EP13843409
Anmeldetag: 26. September 2013
Veröffentlichung: 10. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Taiyo Nippon Sanso Corporation
TNCSE Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von