System and method for compressed data transmission in a maskless lithography system

WO2014055484 Art A1 10. April 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014055484
Aktenzeichen: EP13843577
Anmeldetag: 1. Oktober 2013
Veröffentlichung: 10. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H04N1/40H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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