Substrate housing vessel that suppresses contamination of lid-body-side substrate support section

WO2014057573 Art A1 17. April 2014

Anmelder: Miraial Co., Ltd., Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014057573
Aktenzeichen: EP12886255
Anmeldetag: 12. Oktober 2012
Veröffentlichung: 17. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/673B65D85/86

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Miraial Co., Ltd.
Shin-Etsu Polymer Co. Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Polymer

Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. ist ein japanischer Hersteller von Kunststoff- und Elektronikkomponenten mit Sitz in Tokio, Teil des Shin-Etsu-Chemical-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Verpackungstechnik, ergänzt um Kunststofftechnik und Fertigungstechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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