Method for producing silicon epitaxial wafer and solid-state image-pickup element using same

WO2014057741 Art A1 17. April 2014

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014057741
Aktenzeichen: EP13845887
Anmeldetag: 29. August 2013
Veröffentlichung: 17. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205H01L21/322H01L21/324H01L27/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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