Substrate cleaning method and cleaning liquid composition

WO2014057860 Art A1 17. April 2014

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014057860
Aktenzeichen: EP13845201
Anmeldetag: 3. Oktober 2013
Veröffentlichung: 17. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B08B3/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von

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