Opto-electronic inspection quality assurance system for fluid dispensing valves

WO2014059395 Art A1 17. April 2014

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014059395
Aktenzeichen: EP13846076
Anmeldetag: 12. Oktober 2013
Veröffentlichung: 17. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01B11/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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