Apparatus and method for heat treatment of coatings on substrates

WO2014062619 Art A1 24. April 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc., Heller Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014062619
Aktenzeichen: EP13847665
Anmeldetag: 15. Oktober 2013
Veröffentlichung: 24. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C03B27/012C03B29/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Heller Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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