Symmetric Target Design in Scatterometry Overlay Metrology

WO2014062972 Art A1 24. April 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014062972
Aktenzeichen: EP13847630
Anmeldetag: 17. Oktober 2013
Veröffentlichung: 24. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/47G01B9/02H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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