Beleuchtungssystem einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung

WO2014063719 Art A1 1. Mai 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014063719
Aktenzeichen: EP12788115
Anmeldetag: 27. Oktober 2012
Veröffentlichung: 1. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/09

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von