Method and device for supplying hydrogen-selenide mixed gas

WO2014065233 Art A1 1. Mai 2014

Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014065233
Aktenzeichen: EP13848823
Anmeldetag: 21. Oktober 2013
Veröffentlichung: 1. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/365C01B19/00G01F25/00H01L31/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Taiyo Nippon Sanso Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von