Correction value computation device, correction value computation method, and computer program

WO2014065269 Art A1 1. Mai 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014065269
Aktenzeichen: EP13848344
Anmeldetag: 22. Oktober 2013
Veröffentlichung: 1. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G05B13/04C23C16/52G05B11/36H01L21/02H01L21/205H01L21/31H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von