Method for separating impurities in cmp wastewater and apparatus for separating impurities in cmp wastewater using same

WO2014065487 Art A1 1. Mai 2014

Anmelder: Korea University Research and Business Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014065487
Aktenzeichen: EP13849873
Anmeldetag: 5. Juli 2013
Veröffentlichung: 1. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea University Research and Business Foundation
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea University Research and Business Foundation

Südkoreanische Einrichtung, die Forschungsprojekte und Technologietransfer der Korea University verwaltet, patentiert Ergebnisse aus universitärer Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin und überführt sie in Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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