Hard mask composition and method for forming pattern using same

WO2014065500 Art A1 1. Mai 2014

Anmelder: Cheil Industries Inc. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014065500
Aktenzeichen
EP13849966
Anmeldetag
2. September 2013
Veröffentlichung
1. Mai 2014
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004G03F1/00G03F7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cheil Industries Inc.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Cheil Industries Inc.

Ehemaliges südkoreanisches Chemie- und Materialunternehmen der Samsung-Gruppe, 2015 in Samsung C&T Corporation aufgegangen und heute nicht mehr eigenständig tätig.

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