Hard mask composition and method for forming pattern using same
WO2014065500
Art A1
1. Mai 2014
Anmelder: Cheil Industries Inc. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014065500
- Aktenzeichen
- EP13849966
- Anmeldetag
- 2. September 2013
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/004G03F1/00G03F7/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cheil Industries Inc.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Cheil Industries Inc.
Ehemaliges südkoreanisches Chemie- und Materialunternehmen der Samsung-Gruppe, 2015 in Samsung C&T Corporation aufgegangen und heute nicht mehr eigenständig tätig.
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