Accumulation-type gas supply device

WO2014068886 Art A1 8. Mai 2014

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014068886
Aktenzeichen: EP13850565
Anmeldetag: 18. Oktober 2013
Veröffentlichung: 8. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/00F16K27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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