Method for supplying inert gas to stb in semiconductor wafer manufacturing system and semiconductor wafer manufacturing system using same

WO2014069807 Art A1 8. Mai 2014

Anmelder: Daifuku Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014069807
Aktenzeichen: EP13852072
Anmeldetag: 7. Oktober 2013
Veröffentlichung: 8. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Daifuku Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daifuku

Daifuku ist ein japanischer Hersteller von Material-Handling- und Fördersystemen für Logistik und Fertigung. Das Patentportfolio ist stark auf Verpackungs- und Fördertechnik fokussiert, ergänzt durch Fahrzeug- und Steuerungstechnik. Anmeldungen laufen seit 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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