Double self-aligned phase change memory device structure
WO2014070682
Art A1
8. Mai 2014
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014070682
- Aktenzeichen
- EP13850069
- Anmeldetag
- 28. Oktober 2013
- Veröffentlichung
- 8. Mai 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L27/115H01L21/8247
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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