Process for producing mask blank and process for producing transfer mask

WO2014073389 Art A1 15. Mai 2014

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014073389
Aktenzeichen: EP13852580
Anmeldetag: 24. Oktober 2013
Veröffentlichung: 15. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/50C03B20/00G03F1/60C03C17/09C03C17/245

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

1.653 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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