Polarization beam splitter, substrate processing apparatus, device manufacturing system, and device manufacturing method

WO2014073535 Art A1 15. Mai 2014

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014073535
Aktenzeichen: EP13854051
Anmeldetag: 5. November 2013
Veröffentlichung: 15. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/24G02B5/04G02B5/08G02B5/30G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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