Spatial-light-modulating optical system, illumination optical system, exposure device, and method for producing device

WO2014073548 Art A1 15. Mai 2014

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014073548
Aktenzeichen: EP13854004
Anmeldetag: 6. November 2013
Veröffentlichung: 15. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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