Patterned-film production device and production method

WO2014073676 Art A1 15. Mai 2014

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014073676
Aktenzeichen: EP13853010
Anmeldetag: 11. November 2013
Veröffentlichung: 15. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02F1/13G03F7/24H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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