Autonomous tool parameter impact identification for semiconductor manufacturing

WO2014074221 Art A1 15. Mai 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014074221
Aktenzeichen: EP13852780
Anmeldetag: 13. September 2013
Veröffentlichung: 15. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G06F19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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