Verfahren zur Zuweisung einer Pupillenfacette eines Pupillenfacettenspiegels einer Optischen Beleuchtungseinheit einer Projektionsbelichtungsvorrichtung zu einer Feldfacette eines Feldfacettenspiegels der Optischen Beleuchtungseinheit

WO2014075917 Art A1 22. Mai 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014075917
Aktenzeichen: EP13783603
Anmeldetag: 29. Oktober 2013
Veröffentlichung: 22. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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