Semiconductor inspection device, and inspection method using charged particle beam
WO2014076831
Art A1
22. Mai 2014
Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014076831
- Aktenzeichen
- EP12888270
- Anmeldetag
- 19. November 2012
- Veröffentlichung
- 22. Mai 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66H01J37/22H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
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