Method for producing dry etching gas

WO2014077246 Art A1 22. Mai 2014

Anmelder: Daikin Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014077246
Aktenzeichen
EP13854906
Anmeldetag
12. November 2013
Veröffentlichung
22. Mai 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C07C17/361C07C17/383C07C19/08C07C51/58C07C51/64C07C53/50C07B61/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Daikin Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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