Method for removing silanol compound, chemical filter, and exposure device

WO2014077304 Art A1 22. Mai 2014

Anmelder: Nichias Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014077304
Aktenzeichen: EP13854313
Anmeldetag: 14. November 2013
Veröffentlichung: 22. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/02B01J20/20B01J20/28C01B31/08H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nichias Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nichias

Nichias ist ein japanischer Hersteller von Dämm-, Dichtungs- und Industriematerialien mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie anorganische Chemie und Werkstoffe, ergänzt durch Energie- und Antriebstechnik. Anmeldungen laufen durchgehend seit 2000.

368 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von