Method for cleaning semiconductor substrate and method for producing semiconductor substrate
WO2014077370
Art A1
22. Mai 2014
Anmelder: Lion Corporation, Saito Optical Science Manufacturing Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014077370
- Aktenzeichen
- EP13855109
- Anmeldetag
- 15. November 2013
- Veröffentlichung
- 22. Mai 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304C11D3/18C11D3/20C11D7/06C11D7/08C11D7/18C11D7/26C11D7/36C11D17/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lion Corporation
Saito Optical Science Manufacturing Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Lion Corporation
Japanischer Hersteller von Konsumgütern wie Waschmitteln, Kosmetik und Mundhygieneprodukten mit Sitz in Tokio.
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