Method for cleaning semiconductor substrate and method for producing semiconductor substrate

WO2014077370 Art A1 22. Mai 2014

Anmelder: Lion Corporation, Saito Optical Science Manufacturing Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014077370
Aktenzeichen
EP13855109
Anmeldetag
15. November 2013
Veröffentlichung
22. Mai 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304C11D3/18C11D3/20C11D7/06C11D7/08C11D7/18C11D7/26C11D7/36C11D17/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Lion Corporation
Saito Optical Science Manufacturing Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Lion Corporation

Japanischer Hersteller von Konsumgütern wie Waschmitteln, Kosmetik und Mundhygieneprodukten mit Sitz in Tokio.

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