Method and apparatus for processing a workpiece and an article formed thereby

WO2014078320 Art A1 22. Mai 2014

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc., Chang, Thomas, Boatwright, Thomas, Halderman, Jonathan, D. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014078320
Aktenzeichen: EP13855904
Anmeldetag: 12. November 2013
Veröffentlichung: 22. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/78

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Electro Scientific Industries, Inc.
Chang, Thomas
Boatwright, Thomas
Halderman, Jonathan, D.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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