Vorrichtung zum Ausrichten eines Wafers auf einem Waferträger

WO2014079671 Art A1 30. Mai 2014

Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014079671
Aktenzeichen: EP13789235
Anmeldetag: 4. November 2013
Veröffentlichung: 30. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Aixtron SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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