Lithographic Patterning Of Insulating Or Semiconducting Solid State Material in Crystalline Form
WO2014080367
Art A1
30. Mai 2014
Anmelder: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014080367
- Aktenzeichen
- EP13824007
- Anmeldetag
- 22. November 2013
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/00G03F7/004
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
École Polytechnique Fédérale de Lausanne
Schweizer technische Hochschule und Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Naturwissenschaften.
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