Semiconductor manufacturing apparatus, semiconductor device, and semiconductor device manufacturing method

WO2014080566 Art A1 30. Mai 2014

Anmelder: Sanken Electric Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014080566
Aktenzeichen: EP13857610
Anmeldetag: 16. Oktober 2013
Veröffentlichung: 30. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/34C23C16/46C30B25/10C30B29/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sanken Electric Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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