Semiconductor manufacturing apparatus, semiconductor device, and semiconductor device manufacturing method

WO2014080566 Art A1 30. Mai 2014

Anmelder: Sanken Electric Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014080566
Aktenzeichen: EP13857610
Anmeldetag: 16. Oktober 2013
Veröffentlichung: 30. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/34C23C16/46C30B25/10C30B29/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sanken Electric Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sanken Electric

Sanken Electric ist ein japanischer Hersteller von Leistungshalbleitern und elektronischen Bauelementen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente und elektrische Energietechnik, ergänzt durch Schaltungstechnik. Die Titel betreffen unter anderem Siliziumcarbid-Halbleiterbauelemente und deren Herstellung.

289 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.180 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von