Probe card case and probe card transfer method

WO2014080850 Art A1 30. Mai 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Japan Electronics Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014080850
Aktenzeichen: EP13857164
Anmeldetag: 12. November 2013
Veröffentlichung: 30. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01R31/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Japan Electronics Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von