Scan mirrors for laser radar

WO2014081043 Art A2 30. Mai 2014

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Metrology NV 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014081043
Aktenzeichen: EP13815594
Anmeldetag: 20. November 2013
Veröffentlichung: 30. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01S7/481G01S7/491G01S17/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Metrology NV
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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