Substrate container with purge ports

WO2014081825 Art A1 30. Mai 2014

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014081825
Aktenzeichen: EP13857537
Anmeldetag: 20. November 2013
Veröffentlichung: 30. Mai 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/673B65D85/38B65D85/86

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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