Deposition systems having interchangeable gas injectors and related methods

WO2014083400 Art A1 5. Juni 2014

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014083400
Aktenzeichen: EP13821715
Anmeldetag: 20. November 2013
Veröffentlichung: 5. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C30B25/14C23C16/455C30B35/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Soitec
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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