Plasma processing device

WO2014083623 Art A1 5. Juni 2014

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014083623
Aktenzeichen
EP12889378
Anmeldetag
28. November 2012
Veröffentlichung
5. Juni 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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