Charged particle beam device and program

WO2014084095 Art A1 5. Juni 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014084095
Aktenzeichen: EP13858644
Anmeldetag: 20. November 2013
Veröffentlichung: 5. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/24G06F3/048H01J37/153H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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