Shape measuring apparatus, structure manufacturing system, stage apparatus, shape measuring method, structure manufacturing method, program, and recording medium

WO2014084131 Art A1 5. Juni 2014

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014084131
Aktenzeichen: EP13859323
Anmeldetag: 22. November 2013
Veröffentlichung: 5. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G01B5/20G01B21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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