Resonant cavity conditioning for improved nonlinear crystal performance

WO2014085339 Art A1 5. Juni 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014085339
Aktenzeichen
EP13858429
Anmeldetag
25. November 2013
Veröffentlichung
5. Juni 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01S3/04H01S3/108
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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