Substrate Transport Antechamber Mechanism

WO2014087760 Art A1 12. Juni 2014

Anmelder: National Institute Of Advanced Industrial Science 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014087760
Aktenzeichen: EP13859686
Anmeldetag: 29. Oktober 2013
Veröffentlichung: 12. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute Of Advanced Industrial Science
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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