Method and apparatus for autonomous identification of particle contamination due to isolated process events and systematic trends

WO2014088670 Art A1 12. Juni 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014088670
Aktenzeichen: EP13859892
Anmeldetag: 13. September 2013
Veröffentlichung: 12. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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