Compositions for cleaning iii-v semiconductor materials and methods of using same
WO2014089196
Art A1
12. Juni 2014
Anmelder: ENTEGRIS INC., ATMI Taiwan Co., Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014089196
- Aktenzeichen
- EP13860761
- Anmeldetag
- 4. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 12. Juni 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C11D3/00C11D3/39
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
ATMI Taiwan Co., Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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