Resist Underlayer Film-Forming Composition Comprising Carbonyl-Containing Polyhydroxy Aromatic Ring Novolac Resin

WO2014092155 Art A1 19. Juni 2014

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014092155
Aktenzeichen: EP13863365
Anmeldetag: 12. Dezember 2013
Veröffentlichung: 19. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11C08G8/04G03F7/26H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von