Growing crystalline semiconductor oxide thin films on a substrate at a low temperature using microwave radiation

WO2014092807 Art A1 19. Juni 2014

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014092807
Aktenzeichen: EP13753464
Anmeldetag: 14. August 2013
Veröffentlichung: 19. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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